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  • 產品名稱: 硅片隱裂檢測機
  • 產品編號: QT
  • 上架時間: 2018-04-10

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應用領域:

由于晶體結構的自身特性,晶硅十分容易發生破裂。晶體硅組件生產的工藝流程長,許多環節都可能造成隱裂,將硅片隱裂檢測模塊集成在各類上下料設備中,避免后續工藝更多破片,幫助生產企業節約人工及制造成本,提高產品品質。

 

產品介紹:

u高靈敏度相機——能探測到硅片內部裂紋

u高頻率線掃描——高速穩定,產能≥5000/h

u核心算法——自主開發核心算法,更快更精準的找出隱裂缺陷

u集成式穩態系統——集成式穩態的視覺系統,可適用更惡劣復雜的環境

u人機交互界面——更人性化的界面,便于操作,隨時根據工藝更改配方參數

 

技術參數:

u檢測速度:算法處理時間<0.2/

u誤檢率:<2%

u可檢測最小精度:20μm

u適用種類:單/多晶片,單/雙面制絨片

 

性能特點:單道產能>5000/h;同步導向輸送線;可單/多晶同時檢測

可直觀看到內部隱裂呈現黑色凹紋

破洞或裂紋均可檢測

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